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真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。基于以上概述，所以说国内真***装技术势必会带动旋片式真空泵的热销的。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外.真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，要能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。真空泵的价格、运转及维修费用。

分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。罗茨泵与前级泵抽速之间的关系罗茨泵的抽速与前级泵抽速之间的关系，主要取决于容积效率和罗茨泵许可的压力差。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

选型真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到很好的配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

罗茨泵的工作原理及其结构特点

罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。产品用途：由於Leybold莱宝真空泵SOGEVAC系列莱宝真空泵浦在从1000mbar的一大气压到0。在泵腔内有两个形状对称的转子，转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触，转子与泵腔壁也无接触，其间通常有0.15~1.0mm的间隙，泵腔靠间隙来密封。

由于罗茨泵泵腔内无摩擦，转子可高速运转，一般为1500~3000r/min，而且不必用润滑油，可实现无油清洁的抽气过程。如过流部件采用新型的合成塑料，还应提供有关卫l生部门允许在医l药生产中使用的测试报告。泵的润滑部位仅l限于轴承和齿轮，以及动密封处。泵没有往复运动部件，故可实现良好的动平衡。因而，罗茨泵运转平稳，转速高，尺寸小可获得大的抽速。