谱旭VE101真空泵油诚信企业 苏州方欧真空科技

-、真空泵油的特性

1、密封性

真空泵配件中泵油需求具有适宜的粘度.在低温下能使真空泵疾速发起,在高温下泵油能具有杰出的密封性.在泵内泵油具有较低的温升。不含有轻质的易蒸发组分，下降运用进程中真空泵的返油率。

2、丰满蒸汽压

丰满蒸汽压是泵油较要害的目标之一。 在恒温的密闭容器中,当汽液两相抵达动态均衡时的压力称谓丰满蒸汽压。

油品的丰满蒸汽压要尽量低,在泵的*高工作温度下,仍要具有足够低的丰满蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60°C温度条件 下至少要抵达6.5x10-5 kPa(因温升每上升20°C ,丰满蒸汽压大约要下跌一个数量。

真空泵油的特性

极限全压力和极限分压力

极限全压力:由皮拉尼计或热偶真空计测出真空泵悉数物质(气体)发作压强的总和。国外目前重视全压强的测试目标。

极限分压力:用水l银紧缩式真空计(麦氏计)测得的泵的极限空气分压力, 双级旋片泵分压力应为≤6x 10-5kPa.极限全压力与极限分压力差值央求不大于一个数量级。二者之间的差值越大,泵油中含有的蒸发成分就越

多,油品的性质就越差。

真空泵配件中泵油的光滑性

抵触面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等,都与光滑条件有关。表现佳的泵油有利于抑止腐蚀磨损;能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损;流体光滑剂对抵触面具有清洗作用，也可减轻磨擦磨损。下降抵触阻

力以节约能源, 减少磨损,以延伸机械寿数。

对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻l底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

　　爱发科真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

　　1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

　　2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

　　3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

　　4)在化学工业、医l药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有l机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

　　5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

爱德华真空泵在进行使用的情况下特别枢纽的一点,那便是在爱德华真空泵进行使用的情况下应当防止有一些沙粒等进 入到机器设备中,但是在进行使用的情况下在-一些设备中不可避免会进入到一些机器设备中,所以当机器设备中进入了沙粒之后应当怎么处理呢。以为机器设备在使用时不答应带杂质进入内腔,以为在内腔内有液体运转过程可能会堵塞叶轮不能旋转,因此造成机器设备在运转中损坏。甚至一些硬度较高的砂粒会对机械设备的叶轮造成损伤,因此机械设备在运转中不具备优良的真空机能,因此影响出产效率。