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发布时间:2020-10-29 01:53:30
结构特点(1)泵总体结构型式真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重l心较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重l心低,高速运转时稳定性好。⑶真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。一般大、中型泵多采用此种结构。
气体捕集泵这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵吸气剂泵:它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。吸气剂离子泵:它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。它有如下几种型式。
罗茨泵与前级泵抽速之间的关系
罗茨泵的抽速与前级泵抽速之间的关系,主要取决于容积效率和罗茨泵许可的压力差。如果容积效率低,则罗茨泵机组的有效抽速将会明显下降。无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品,是获得粗真空的主要设备。如果罗茨泵的压力差超过许可的很大压力差,由于压缩功将使转子过热膨胀,而会被卡死。因为泵壳易于向周围环境散热,仍然是不太热的。
罗次泵大允许压差范围在40-100hPa,在较高的压力范围(150hPa)时,允许的压力差稍高,因为被抽气体量多谢,改善了转子的冷却。由于压差的增加,必将引起所需功率也要增加。
在罗茨泵的出口管道设置专用的气体冷却器,这时许可的很压差可以增加,因为冷却气体的回流能保持转子的温度在规定的范围内。
在真空和高真空范围内,抽速比多采用10:1。在入口压力有较大变化或前级压力变小,则压缩比降低,故抽速比多选择5:1。
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