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对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻l底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

　　爱发科真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

　　1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

　　2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

　　3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

　　4)在化学工业、医l药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有l机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

　　5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

爱德华真空泵油 详细介绍

英国Edwa***爱德华真空泵新型油Ultragrade 15、19、20 和 70，均采用新制程生产。大多数真空泵油制造商都采用溶剂精炼制程，而Edwa***爱德华真空泵油采用独特的氢化制程生产。这一制程不会产生氮、硫、氧和芳香烃类，因此可得到无任何杂质的清洁基料。

加入添加剂后，Ultragrade? 油可改善真空性能、热稳定性和氧化稳定性，不易生锈。油中的抗l氧化剂可让泵承受较高的工作温度而不会造成油的退化，从而延长换油的时间间隔。

Edwa***爱德华真空泵油除了要具有一般润滑油的润滑，冷却，好用的爱发科真空泵油，抗l氧化，油水分离等特点外，爱发科真空泵油价格，另外在低压状态下，轻质组分要比常规的油品少很多。

真空泵油的性能要求

清净性。摩擦副不可避免地要与周围介质接触，引起腐蚀、锈蚀而***。表现优良的真空泵油要求尽可能把摩擦面积垢清洗排除；抗腐蚀防锈并保护摩擦面不受油变质或外来侵蚀。

氧化安定性。氧化安定性说明润滑油的抗老化性能，对工业流水线作业的真空油都有此项特殊性能要求。一切润滑油都依其化学组成和所处外界条件不同，出售爱发科真空泵油，而具有不同程度的自动氧化倾向。真空泵油在有空气（或氧气）及金属催化剂的存在下，在一定温度下的氧化时间里，爱发科真空泵油，会出现油品的酸值、黏度变化及生成沉淀物的情况。会随使用过程而发生氧化作用，因而逐渐生成一些醛、酮、酸类和胶质、沥青质等物质，氧化安定性则是***上述不利于油品使用的物质生成的性能。