谱旭VE101真空泵油-方欧真空科技有限公司(在线咨询)

关于爱发科真空泵油的工作原理说明

　　无油干式机械爱发科真空泵油(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，谱旭VE101真空泵油，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

　　目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用爱发科真空泵油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器；其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻l底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

　　爱发科真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

　　1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

　　2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

　　3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

　　4)在化学工业、医l药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有l机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

　　5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

爱发科真空泵油R-4 5L 详细介绍

产品信息：

名 称： 爱发科真空泵油r-4

品 牌： 日本爱发科

规 格： 5L 20L 200L

适用机型： 中大型真空泵

产品描述：日本爱发科R-7真空泵油是由石油馏分经***精制或溶剂精制并加入抗l氧剂而成。润滑性能好，对机械零件磨损小；稳定性好，长期使用不易变质，不积炭，颜色浅。

产品特点：

1.极低的蒸气压

2.合适的粘度和很好的粘温特性

3.很好的热氧化安定性

4.很强的抗腐蚀性和抗乳化性