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（4） 扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。（5） 离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

（1）蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。机械安装：真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、***。（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵

分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点结构简单，制造精度要求不高，容易加工。结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。

关于罗茨真空泵的性能特点

1、罗茨真空泵噪音低、风机进、排气口采用螺旋形状，使进、排风过程按螺旋线的方向循序切入，避免了旧式罗茨鼓风机排风时瞬间爆发的脉动噪音和振动。

2、启动快，耗功少，运转维护费用低，抽速大、效l率高，对被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感

3、性能稳定。罗茨鼓风机风机转子、机壳、墙板、轴等关键零件，均采用***的控加工设备，使零部件的互换性提高。

4、振动小。尽管转子经过精密加工，已成平衡状态，但仍采用高l精度的动平衡设备进行平衡。

5、绝热效率和容积效l率高，因而节能。罗茨风机转子采用***的复合曲线，啮合更加合理，并且增大了容积效率。

6、采用高l精度、高硬度的同步齿轮，不仅使罗茨真空泵的寿命得到延长，还有效降低了噪音。