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罗茨泵的工作原理及其结构特点

罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵腔内有两个形状对称的转子，转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝相反方向旋转，由轴端齿轮驱动同步转动。洁净区内使用的泵，其非过流部件不允许涂漆，因此也应采用不锈蚀的材料。转子彼此无接触，转子与泵腔壁也无接触，其间通常有0.15~1.0mm的间隙，泵腔靠间隙来密封。

由于罗茨泵泵腔内无摩擦，转子可高速运转，一般为1500~3000r/min，而且不必用润滑油，可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位仅l限于轴承和齿轮，以及动密封处。泵没有往复运动部件，故可实现良好的动平衡。主动轴传递的扭矩较大，轴要有足够的强度和刚度，轴与转子要固结牢靠。因而，罗茨泵运转平稳，转速高，尺寸小可获得大的抽速。

莱宝真空泵SOGEVAC系列是单极油封式旋片泵。泵本身带有防返油阀、气镇阀（选配）、出口过滤器、回油线路和和油冷却回路。泵由直联法兰电机驱动。安装在泵体中的偏心转子）有三块叶片，它们把泵分成三个隔室，每个隔室的容积随转子的旋转周期性的变化。当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩大，将气体从进气口吸入，气体经过空气滤芯，打开的防返油阀进入腔泵。当转子进一步旋转，叶片从吸入口将泵腔部分分开。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。这部分泵腔容积减少，气体被压缩。气体在略高于大气压时经过排气阀从泵腔排出。

水环真空泵的优点

　　结构简单，制造精度低，易于加工。

　　结构紧凑，泵转速高，可直接与电机连接，无需减速设备。因此，用小的结构标准，可以获得大的位移，并且占用面积小。

　　收紧气体基本上是等温的，即收紧气体的温度变化不大。

　　由于泵腔内没有金属摩擦现象，所以不需要平滑泵的内部，磨损非常小。滚动部分和固定部分之间的密封可以通过水密封直接结束。

　　吸入均匀，运行稳定可靠，操作简单，维修方便。